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一、產(chǎn)品介紹

ZXL-830D型是一款配置無油干泵的氦質(zhì)譜檢漏儀。適用于對(duì)高清潔的真空設(shè)備進(jìn)行檢漏。

二、主要技術(shù)指標(biāo)

1.  最小可檢漏率：5×10^-13Pa·m³/s

2.  漏率顯示范圍：1×10^-3—1×10^-13Pa·m³/s

3.  啟動(dòng)時(shí)間：≤3min

4.  響應(yīng)時(shí)間：≤1s

5.  檢漏口的最高壓力：2000Pa

6.  極限壓強(qiáng)：5×10^-4Pa

7.  電源要求：220V，50Hz，單相，10A

8.  工作環(huán)境：5-35℃

9.  相對(duì)濕度：≤80%

10. 外形尺寸：550（W）×450（D）×880（H）

11. 重量：65kg

三、主要配置

1. 進(jìn)口檢漏儀專用分子泵

2. 進(jìn)口干泵

3. 配置標(biāo)準(zhǔn)漏孔

4. 美國(guó)AD放大器

5. 采用質(zhì)譜專用模塊

6. 臺(tái)達(dá)觸摸彩屏